ACHIEVEMENT
| 번호 | 제목 | 등록번호 | 상태 | 등록일 |
|---|---|---|---|---|
| 163 |
Equipment and Method for monitoring the polymer thin film using Terahertz wave국제특허출원(PCT)김학성, 김상일 |
PCT/KR2024/009844 | Pending | 2024.07.10 |
| 162 |
테라헤르츠 파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링용 장치 및 방법국내특허출원김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
10-2676683 | Register | 2024.06.14 |
| 161 |
다공성 펠리클 및 그 제조 방법국내특허출원안진호, 김학성, 김하늘, 김정연, 강영우 ,김헌수 |
10-2024-0075038 | Pending | 2024.06.10 |
| 160 |
Equipment and Method for monitoring the semiconductor packaging process using Terahertz wave국제특허출원(PCT)김학성, 김헌수, 김상일 |
PCT/KR2024/006737 | Pending | 2024.05.17 |
| 159 |
PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOFUS Patent김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
18/647,096 | Pending | 2024.04.26 |