ACHIEVEMENT
| 번호 | 제목 | 등록번호 | 상태 | 등록일 |
|---|---|---|---|---|
| 168 |
플라즈마 프로세싱 시스템들에서 플라즈마 모니터링 및 플라즈마 밀도 측정국내특허출원김학성, 박동운, 김헌수, 김상일, 최진두, Righetti Fabio |
10-2025-7005108 | Pending | 2025.02.17 |
| 167 |
PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOFUS Patent김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
12,198,893 | Register | 2025.01.14 |
| 166 |
Terahertz wave를 사용한 기판 검사 기술국내특허출원김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 정현진 |
10-2024-0162511 | Pending | 2024.11.14 |
| 165 |
회로 기판 및 이를 포함하는 반도체 패키지국내특허출원정순오, 한영주, 노진미, 김학성, 이세민, 전나현, 노현지, 엄희 |
10-2024-0156025 | Pending | 2024.11.06 |
| 164 |
테라헤르츠 파를 이용한 금속 박막 검사 장치 및 방법국내특허출원김학성, 김상일, 김헌수, 이세민, 김태완 |
10-2024-0137973 | Pending | 2024.10.10 |