번호 제목 등록번호 상태 등록일
168

플라즈마 프로세싱 시스템들에서 플라즈마 모니터링 및 플라즈마 밀도 측정

국내특허출원

김학성, 박동운, 김헌수, 김상일, 최진두, Righetti Fabio

10-2025-7005108 Pending 2025.02.17
167

PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOF

US Patent

김학성, 박동운, 김헌수, 김상일

12,198,893 Register 2025.01.14
166

Terahertz wave를 사용한 기판 검사 기술

국내특허출원

김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 정현진

10-2024-0162511 Pending 2024.11.14
165

회로 기판 및 이를 포함하는 반도체 패키지

국내특허출원

정순오, 한영주, 노진미, 김학성, 이세민, 전나현, 노현지, 엄희

10-2024-0156025 Pending 2024.11.06
164

테라헤르츠 파를 이용한 금속 박막 검사 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김상일, 김헌수, 이세민, 김태완

10-2024-0137973 Pending 2024.10.10