ACHIEVEMENT
| 번호 | 제목 | 등록번호 | 상태 | 등록일 |
|---|---|---|---|---|
| 104 |
PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOFUS Patent김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
12,198,893 | Register | 2025.01.14 |
| 103 |
테라헤르츠 파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링용 장치 및 방법국내특허출원김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
10-2676683 | Register | 2024.06.14 |
| 102 |
전자 소자 제조 방법 및 이를 통해 제조된 전자 소자국내특허출원김학성, 문창진, 장용래, 박종휘 |
10-2387519 | Register | 2022.04.13 |
| 101 |
두께 측정 장치, 두께 측정 방법 및 두께 측정 프로그램국내특허출원김학성, 오경환, 박동운, 김덕중 |
10-2350650 | Register | 2022.01.07 |
| 100 |
리플렉터 및 이를 포함하는 광소결 장치국내특허출원김학성, 유충현, 장용래, 문창진, 추지현, 박종휘 |
10-2328781 | Register | 2021.11.16 |