<액트로는 반도체 검사기용 테라헤리츠 특허에 대한 기술이전 계약을 14일 체결했다. 왼쪽부터 변중무 한양대 산학협력단장, 하동길 액트로 대표, 김학성 한양대 교수.>

스마트폰 카메라 부품제조기업 액트로(대표 하동길)는 한양대 산학협력단과 검사기용 테라헤르츠 특허에 대한 7억원대 기술이전 계약을 체결했다고 15일 밝혔다.

이번에 액트로가 이전 받기로 한 기술은 테라헤르츠파의 굴절률을 이용한 두께 검사 기술이다. 액트로의 전문분야인 자동화 설비 및 검사기술을 바탕으로 반도체 패키지 검사 시스템에 적용시킬 계획이다. 테라헤르츠파를 이용하면 빠르고 정확하게 반도체 에폭시몰딩컴파운드(EMC) 두께를 측정할 수 있다.

테라헤르츠파(THz)는 적외선과 마이크로파의 중간 영역에 해당하며 약 0.1∼10THz의 주파수를 갖는 전자기파다. 비금속 재료를 잘 투과하며 고해상도 투시가 가능하기 때문에 경량 신소재의 비파괴, 비접촉 검사에 광범위하게 활용 가능하다. 테라헤르츠 기술을 활용해 미크론 단위의 정밀급 검사기가 라인에 도입이 된다면 패키징에서 EMC 두께를 현저히 줄일 수 있는 교두보를 마련하게 된다. 또한 대면적 패널레벨패키지(PLP)나 웨이퍼레벨패키지(WLP) 제조에도 유리한 검사방법을 제시하게 된다.

출처: https://www.etnews.com/20230315000134